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Systechillinois - Aluminium Oxide Moisture Sensor 란? |
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작성자: admin 2021-11-26 14:56:38 | 252 |
첨부: Al2O3 - 201510.pdf (95.2 KB) |
산화알루미늄(Al2O3) 습도센서 란? 산화알루미늄(Al2O3) 센서는 대부분의 산업용 가스에서 노점, ppm 또는 상대 습도에 대해 정확한 측정 성능을 발휘합니다. 산화알루미늄 센서는 기능적인 측면에서 커패시터입니다. 센서는 대부분의 산업용 가스에서 ppm으로 측정하고 노점 측정을 할 수 있습니다. 내부에 전자장치가 장착되어 있어 센서로부터 나오는 신호를 처리하여 측정값을 전면 디스플레이 패널에 표시합니다.
산화알루미늄 습도센서의 이론
알루미늄 프로브는 산화알루미늄의 얇은 다공성 코팅막이 형성되도록 화학적으로 처리되었습니다. 이 때 산화알루미늄은 금 재질의 얇고 투과층이 함께 코팅됩니다. 금 층과 알루미늄 프로브는 각각 양극과 음극을 이루게 됩니다.
그림 1. 산화알루미늄 센서의 단면 금 층은 수분이 투과 가능하고 전도성입니다. 이것은 커패시터의 이차 전극을 형성합니다. 산화알루미늄 층에 있는 다공은 가스 기류로부터 수분을 흡수하는데 그 양은 가스에 함유되어 있는 수분량과 직접 비례합니다.
그림 2. 산화알루미늄 센서의 구조를 근접 확대한 모습 물 분자의 흡수는 센서의 정전 용량을 변화시킵니다. 센서의 정전 용량을 측정하여 수분값으로 변환합니다. 산화알루미늄 층에 있는 다공의 크기에 따라 물 분자에 대한 센서가 특정됩니다. 적용
산화알루미늄 센서는 수분 측정이 필요한 거의 모든 분야에서 사용하기가 적합합니다.
수분 분석기는 다음과 같이 산업의 두 분야에서 적용할 수 있습니다.
가스 생산자 - 생산가스 품질 보증용 가스 소비자 - 불활성 가스막의 신뢰성 보증용.
대표적인 산업으로 반도체 제조, 금속코팅 및 플라스틱 제조분야입니다. |