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Systechillinois - Aluminium Oxide Moisture Sensor 란?
작성자: admin 2021-11-26 14:56:38 | 252
첨부: Al2O3 - 201510.pdf (95.2 KB)

산화알루미늄(Al2O3) 습도센서 란?
산화알루미늄(Al2O3) 센서는 대부분의 산업용 가스에서 노점, ppm 또는 상대 습도에 대해 정확한 측정 성능을 발휘합니다. 산화알루미늄 센서는 기능적인 측면에서 커패시터입니다. 센서는 대부분의 산업용 가스에서 ppm으로 측정하고 노점 측정을 할 수 있습니다. 내부에 전자장치가 장착되어 있어 센서로부터 나오는 신호를 처리하여 측정값을 전면 디스플레이 패널에 표시합니다.

산화알루미늄 습도센서의 이론
알루미늄 프로브는 산화알루미늄의 얇은 다공성 코팅막이 형성되도록 화학적으로 처리되었습니다. 이 때 산화알루미늄은 금 재질의 얇고 투과층이 함께 코팅됩니다. 금 층과 알루미늄 프로브는 각각 양극과 음극을 이루게 됩니다.

그림 1. 산화알루미늄 센서의 단면

금 층은 수분이 투과 가능하고 전도성입니다. 이것은 커패시터의 이차 전극을 형성합니다. 산화알루미늄 층에 있는 다공은 가스 기류로부터 수분을 흡수하는데 그 양은 가스에 함유되어 있는 수분량과 직접 비례합니다.
 

그림 2. 산화알루미늄 센서의 구조를 근접 확대한 모습

물 분자의 흡수는 센서의 정전 용량을 변화시킵니다. 센서의 정전 용량을 측정하여 수분값으로 변환합니다. 산화알루미늄 층에 있는 다공의 크기에 따라 물 분자에 대한 센서가 특정됩니다.

적용
산화알루미늄 센서는 수분 측정이 필요한 거의 모든 분야에서 사용하기가 적합합니다.
수분 분석기는 다음과 같이 산업의 두 분야에서 적용할 수 있습니다.
                   
                   가스 생산자 - 생산가스 품질 보증용
                   가스 소비자 - 불활성 가스막의 신뢰성 보증용.

대표적인 산업으로 반도체 제조, 금속코팅 및 플라스틱 제조분야입니다.
 
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